BS EN 62418-2010 半导体器件.金属化应力空隙试验
作者:标准资料网 时间:2024-05-12 05:42:17 浏览:8048
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【英文标准名称】:Semiconductordevices.Metallizationstressvoidtest
【原文标准名称】:半导体器件.金属化应力空隙试验
【标准号】:BSEN62418-2010
【标准状态】:现行
【国别】:英国
【发布日期】:2010-08-31
【实施或试行日期】:2010-08-31
【发布单位】:英国标准学会(GB-BSI)
【起草单位】:BSI
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:铝;涂层;铜;电气工程;电子设备及元件;金属涂层;金属表面;迁移;可靠度;耐力;半导体器件;应力;压力测试;试验温度;试验
【英文主题词】:Aluminium;Coatings;Copper;Electricalengineering;Electronicequipmentandcomponents;Metalcoating;Metallicsurfaces;Migration;Reliability;Resistance;Semiconductordevices;Stress;Stresstests;Testtemperatures;Testing
【摘要】:ThisInternationalStandarddescribesamethodofmetallizationstressvoidtestandassociatedcriteria.Itisapplicabletoaluminium(Al)orcopper(Cu)metallization.Thisstandardisapplicableforreliabilityinvestigationandqualificationofsemiconductorprocess.
【中国标准分类号】:L40
【国际标准分类号】:31_080_01
【页数】:20P.;A4
【正文语种】:英语
【原文标准名称】:半导体器件.金属化应力空隙试验
【标准号】:BSEN62418-2010
【标准状态】:现行
【国别】:英国
【发布日期】:2010-08-31
【实施或试行日期】:2010-08-31
【发布单位】:英国标准学会(GB-BSI)
【起草单位】:BSI
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:铝;涂层;铜;电气工程;电子设备及元件;金属涂层;金属表面;迁移;可靠度;耐力;半导体器件;应力;压力测试;试验温度;试验
【英文主题词】:Aluminium;Coatings;Copper;Electricalengineering;Electronicequipmentandcomponents;Metalcoating;Metallicsurfaces;Migration;Reliability;Resistance;Semiconductordevices;Stress;Stresstests;Testtemperatures;Testing
【摘要】:ThisInternationalStandarddescribesamethodofmetallizationstressvoidtestandassociatedcriteria.Itisapplicabletoaluminium(Al)orcopper(Cu)metallization.Thisstandardisapplicableforreliabilityinvestigationandqualificationofsemiconductorprocess.
【中国标准分类号】:L40
【国际标准分类号】:31_080_01
【页数】:20P.;A4
【正文语种】:英语
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